静电是一种客观的自然现象,产生的方式很多,如接触、磨擦、冲流、感应等等。其产生的基本过程可归纳为:接触→电荷→转移→偶电层形成→电荷分离。设备或人体上的静电最高可达数万伏以至数十万伏,在正常操作条件下也常达数百至数千伏。人体由于自身的动作及与其它物体的接触-分离、磨擦或感应等因素,可以带上几千伏甚至上万伏的静电。静电是正、负电荷在局部范围内失去平衡的结果。它是一种电能,留存在物体表现,具有高电位、低电量、小电流和作用时间短的特点。
磨擦起电和人体静电是电子、微电子工业中的两大危害源,但产生静电并非危害所在,危害在于静电积累及由此产生的静电电荷放电,因此必须予以控制。带静电的物体,在其周围形成静电场,会产生力学效应,放电效应和静电感应效应。
电子产品在生产过程中,元器件、组件成品经常与设备工具等发生接触、分离,磨擦而产生静电,必须使用防静电坐垫、周转小车、维修包、工具、工作椅(凳)等,并通过适当的接地,使静电迅速泄放。
静电放电引起的元器件击穿损害是电子工业最普片、最严重的静电危害,它分为硬击穿和软击穿。硬击穿是一次性造成元器件介质击穿、烧毁或永久性失效;软击穿则是造成元器件性能劣化或参数指标下降。
为了解生产过程静电起电情况,判别生产过程中静电的影响程度以及检验静电防护用品、装备质量都需要测量静电及有关参数。静电的测量,主要是对静电电压、材料电阻、接地电阻、静电关衰期、静电电量、静电消除器消电性能、布料电荷面密度等的测量。
静电控制常见措施有:静电的泻放和耗散、中和、屏蔽、接地、增湿等。
静电防护是一项系统工程,任何环节的疏忽和失误,都将导致静电防护工作的失败,带来灾难性的后果。必须人人防护,时时防护。
静电术语名词解释
1. 静电放电(Electrostatic Discharge)是指具有不同静电电位的物体互相靠近或直接接触引起的电荷转移。
2. 电气过载(Electrical Overstress)表示了一种电气设备过载现象,当电气设备上所加的电流或电压超过限定值时所产生过多的热量对其造成了损害。
3. 表面电阻:表示在一个平面物体同一面的分开放置的两个电极(规定尺寸、重量和硬度)之间的电阻。
4. 体积电阻:表示放置在一个平面物体对立面上的两个电极(规定尺寸、重量和硬度)之间的电阻。
5. 点对点电阻:表示在一个平面物体表面分开放置的两个重锤电极(规定尺寸、重量和硬度)之间的电阻。
6. 平衡电压:用来表征离子发生器的性能。电压越小,性能越好。
7. 衰减时间:用来表征离子发生器的性能,从1000V衰减到100V所需要的时间。越小越好。
8. 人体模型(HBM):一种静电放电模型,模拟人体手指对静电敏感器件放电直接放电的状态。一般,电容选取100pF,放电电阻为1500Ω。
9. 机器模型(MM):一种静电放电模型,模拟自动化机器设备对静电敏感器件放电直接放电的状态。一般,电容选取200pF,放电电阻为0Ω。
10. 带电元件自身放电模型(CDM):一种静电放电模型,模拟带电元件自身对其它物体直接放电的状态。
洁净室术语名词解释
11. 洁净室是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。
12. 洁净区:空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。其他参数如压力,温度,湿度等按照要求进行控制。洁净区可以是开放式或者封闭式。
13. 悬浮粒子:用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.1um~5um的固体和液体粒子,但不适用于表征悬浮粒子的物理性、化学性、放射性及生命性。
14. 空态:已经建造完成并可以投入使用的洁净室(设施)。它具备所有有关的服务和功能。但是,在设施内没有操作人员操作的设备。
15. 静态:各种功能完备、设定安装妥当,可以按照设定使用或正在使用的洁净室(设施),但是设施内没有操作人员。
16. 动态:处于正常使用的洁净室,服务功能完善,有设备和人员;如果需要,可从事正常的工作。
17. 尘埃:存在于表面和气体中的固体物质。
18. 粒子:粒子可以定义为具有一定尺寸、液态或固态的、或两态的物质。美国联邦209E标准定义的粒径范围是0.001微米至1微米。ISO14644标准将粒子定义为具有既定物理边界的一小粒物质。
19. 粒子浓度:每单位体积空气中粒子的数量。
20. 粒径:粒子在显微镜的观测平面上显现出来的最大线性外形尺寸,或者是由自动化探测仪器所探测到的粒子当量直径。
21. 超微粒子:从大约0.01微米到离散式粒子计数器粒径探测上限范围的粒子。
22. 自净时间:洁净室被污染后,净化空调系统开始运行至恢复到稳定的规定室内洁净度等级所需的时间
版权归深圳金钥匙静电微污染工程咨询公司所有